濕電子化學品,被稱為微電子產業的“工業味精”,是重要的支撐材料之一,其品質直接影響電子產品的成品率、電性能及可靠性,也對先進制造技術的產業化有著深遠的影響,具有較高的產品附加值和技術門檻。
濕電子化學品分類標準
目前,我國的濕電子化學品通常執行SEMI國際標準,其關鍵技術指標包括單項金屬雜質、非金屬離子、顆粒數等,另外根據不同產品特點會相應增加其他一些技術指標。
按照SEMI等級的分類,濕電子化學品可劃分為G1-G5五個等級。應用領域不同,對微電子化學品的純度要求也有所不同。
濕電子化學品下游應用
濕電子化學品下游主要應用領域包括半導體、顯示面板及光伏等,終端場景主要應用于電子信息產品,例如智能手機、智能電視、智能汽車、電腦等。濕電子化學品的三個主要應用領域對產品的等級要求有所不同:
半導體領域:純度要求較高,基本集中在SEMIG3、G4、G5水平,我國的研發水平與國際尚存在較大差距。其中分立器件對超凈高純試劑純度的要求要低于集成電路,基本集中在SEMIG2級水平,國內企業的生產技術能夠滿足大部分的生產需求;8英寸及以下晶圓制程的中低端領域要求達到 G3、G4 水平,大硅片及12英寸晶圓制程的部分高端領域要求達到G5等級。
平板顯示和LED領域:等級要求為SEMIG2、G3水平,國內企業的生產技術能夠滿足大部分的生產需求。
光伏太陽能電池領域:一般只需要SEMIG1級水平,是目前國產超凈高純試劑的主要市場。
濕電子化學品工藝流程
電子濕化學品的主要工藝流程包括原料接收、純化、吸收、混配等工藝,制得的成品包裝入包裝桶或槽車中,檢驗合格后入庫。濕電子化學品對純度和潔凈度要求很高,在生產、檢測、包裝、運輸各環節均有嚴格要求,其中的純化技術更是關鍵點,直接影響產品品質。
濕電子化學品品種眾多,產品制備工藝、設備要求各不相同,需根據不同品種特性確定工藝路線。提純工藝段主要采用蒸餾、亞沸蒸餾、等溫蒸餾、減壓蒸餾以及升華、化學處理、氣體吸收等技術,分離金屬雜質。采用超微過濾器(PTFE膜)過濾除去顆粒性雜質。結合不同的顆粒、金屬雜質、非金屬雜質分析測試技術以達到相應標準的潔凈度。
優異的過濾工藝提升濕電子化學品品質
Ezinstall PFA Housing
電子化學品性質多樣性,要求過濾產品必須有廣泛的化學兼容性,大立 自主研發的PFA Housing采用全氟結構,化學性能穩定,能適配高腐蝕性、高溫度、高壓強的過濾環境,低殘留, 同時PFA全氟濾殼結構經過優化,安裝便捷,濾芯更換方便,有利于在生產中減少停機時間。
BTF-All Fluoropolymer Filter Cartridges
同樣采用全氟配件制成的BTF系列濾芯,在酸、堿及其他苛刻的化學料液過濾工藝段都有著穩定的過濾表現,超大的過濾面積高性能濾材在確保超高的截留性能的同時也為產品提供了很好的通量。全氟結構設計保證產品的超低析出,很大程度保證產品的潔凈度。